研磨前检查高真空不锈钢隔膜阀的密封面。 深度小于0.05mm时，可通过打磨消除缺陷（冲击、压伤、刀痕、不平整、凹痕等）； 当深度大于0.05mm时，应先在车床上加工，然后再打磨（无论如何，不得使用锉刀或砂纸进行修补）。 当缺陷深度大于0.2mm时，应更换新的密封圈或堆焊层，然后打磨。
当密封面的缺陷不明显时，可通过以下方法检查密封面的平整度：先用布擦拭密封面，然后用软铅笔标记辐射或同心圆 通过中高真空不锈钢隔膜阀芯。 然后用校准板检查校准情况，将校准板放在密封面上，轻轻按压旋转2～3圈，然后取下检查密封面。 如果画出来的铅笔线都被印版擦掉了，说明封口面是平整的：如果封口面不平整，会留下一部分铅笔线。 密封面的平整度也可以通过喷漆来检查。
为了快速研磨，有时可以预先进行粗研磨。 粗磨可使用大粒径320粉（粒径42~28um）； 细磨可使用小粒径M28/M114细粉（粒径28~10um），特别高精度可使用M7细粉（粒径7~5um）。
