高真空不锈钢隔膜阀是流量控制系统中的运动部件，不断节流，频繁切断流量； 因此，在恶劣条件下使用时，阀内件的磨损是预料之中的问题。 由于磨损，容易更换阀内件是设计高真空不锈钢隔膜阀时应考虑的重要事项。
高真空不锈钢隔膜阀芯和阀座材料的磨损导致阀门泄漏，从而改变流量特性。 如果发生严重磨损，将形成新的流道，并可能穿透阀体壁。
颗粒冲击磨损与颗粒的动量关系不大，而与磨粒的动能有关。 由于颗粒和阀内件之间建立的“缓冲效应”，输送高粘度流体可以减少磨损。 要评估抗颗粒冲击和耐磨性，阀内件的硬度不是的标准。 小磨粒引起的磨损小于大颗粒引起的磨损。 一般来说，磨损造成的损坏随流量的平方增加。
磨损的基本形式有四种：（1）磨损颗粒； (2)气蚀：(3)磨损和腐蚀； (4)高速液体冲击。 消除或减少磨损或将磨损转移到非关键部件的方法因磨损形式而异。
