高真空不锈钢隔膜阀的密封起到切断和连接、调节和分配、分离和混合高真空不锈钢隔膜阀通道上介质的作用，因此密封面经常被经过的介质腐蚀、侵蚀和磨损，容易损坏。
密封面损伤有两个原因：人为损伤和自然损伤。人为损坏是由设计不良、制造不准确、选材不当、安装不当、使用不良、维护不良等因素造成的。自然损坏是高真空不锈钢隔膜阀在正常工作条件下的磨损，是介质对密封面不可避免的腐蚀和侵蚀。
密封面损坏有几个原因：
一：密封面加工质量不好，主要表现在密封面有裂纹、气孔、夹碴等缺陷，这是由于焊接和热处理规范选择不当，焊接和热处理时操作不良造成的。密封面硬度过高或过低，是由于选材或热处理不正确造成的。密封面硬度不均匀、耐腐蚀，主要是由于焊接时底层金属被吹到上面，密封面合金成分被稀释所致。当然也有设计问题。
二：选择和操作不当造成的损坏。主要表现为没有根据工况选择高真空不锈钢隔膜阀，采用截断阀作为节流阀，导致关闭比压过高，关闭过快或关闭不严，密封面被侵蚀磨损。
三：安装不当和维修不力导致密封面工作不正常，高真空不锈钢隔膜阀带病运转，过早地损坏了密封面。
四：介质的化学腐蚀，密封面周围的介质在不产生电流的情况下，介质直接与密封面起化学作用，腐蚀密封面。
五： 电化学腐蚀，密封面互相接触、密封面与关闭体和阀体的接触以及介质的浓度差、氧浓差等原因，都会产生电位差，发生电化学腐蚀，致使阳极一方的密封面被腐蚀。
六： 介质的冲蚀，它是介质流动时对密封面磨损、冲刷、汽蚀的结果。介质在一定的速度下，介质中的浮游细粒冲撞密封面，使其造成局部损坏，高速流动的介质直接冲刷密封面，使其造成局部损坏，介质混流和局部汽化时，产生气泡爆破冲击密封面表面，造成局部损坏。介质的冲蚀加之化学腐蚀交替作用，会强烈的浸蚀密封面。
七：机械损伤，打开和关闭时密封面会有划痕、凸起、挤压等损伤。在两个密封面之间，原子在高温高压的作用下相互渗透，产生粘连。当两个密封面相互移动时，附着力容易撕裂。密封面的表面粗糙度越高，这种现象越容易发生。在高真空不锈钢隔膜阀的关闭过程和阀瓣的返回过程中，密封面会受到擦伤和挤压，造成密封面的局部磨损或压痕。
八： 疲劳损坏，密封面在长期使用中，在交变载荷的作用下，导致密封面疲劳、开裂和剥落。而且橡胶和塑料长期使用后容易老化，导致性能不佳。
