高真空不锈钢隔膜阀的密封原理是依靠操作机构的向下运动来压下隔膜或隔膜组件，以紧密关闭堰式衬里阀体或直管的通道。 通过衬里阀体实现密封。 密封件的比压通过关闭部件的向下压力来实现。 由于阀体可以衬有各种柔软的材料，例如橡胶或聚四氟乙烯； 隔膜也由柔软的材料制成，例如橡胶或衬有合成橡胶的聚四氟乙烯，因此可以用较小的密封力实现完全密封。
高真空不锈钢隔膜阀只有三个主要部分：阀体，隔膜和阀盖组件。 隔膜将下阀体的内腔与上阀盖的内腔分隔开，因此阀杆，阀杆螺母，阀瓣，气动控制机构，电气控制机构和位于隔膜上方的其他零件不会 与介质接触，不会生成任何介质。 外部泄漏节省了填料函的密封结构。
